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溅射离子泵无油超高真空系统。此系统是获得清洁超高真空的主要手段,可以获得10-9Pa的真空度,一般由溅射离子泵、钛升华泵与分子筛吸附泵或者是与涡旋泵、液氮阱等共同组成,可以获得清洁的无油超高真空系统。由于溅射离子泵的启动压力在1Pa以下,而且对有机蒸汽敏感,因此在使用时需要对其进行*底的烘烤除气,并用预抽泵抽走烘烤释放出的气体。
在安装泵之前,应在进气口和出气口打开的情况下检查电机旋转方向。从电机端看,驱动轴应逆时针旋转。注意电机或外壳上指示旋转方向的箭头。如果电机转向错误,可以通过在电机连接端子块上互换两相来纠正。
电机功率、转速是和真空泵相匹配的,不能更改。风扇安装于电机主轴上,电机转速决定了风扇转速,也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用,但叶片数量增加后,动平衡不容易找,如找正不好,会引起电机振动增加
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机械泵由电机和泵体两大部分组成。普通型机械泵由电机通过皮带带动泵轴旋转;直连型机械泵是电机直接与泵轴连接,无中间传动环节。机械泵是利用气体膨胀、压缩、排出的原理,把气体从容器里抽出的。 高真空分子泵维修,之所以称之为机械泵,是因为它是利用机械的方法,周期性地改变泵内吸气腔的容积,使容器中的气体不断地通过泵的进气口膨胀到吸气腔中,然后通过压缩经排气口排出泵外。 高真空分子泵维修
改变泵内吸气腔容积的方式有活塞往复式、定片式和旋片式,分别称为往复式机械泵、定片式机械泵和旋片式机械泵。由于实际应用中,旋片式机械泵使用较多,高真空分子泵维修
分子泵的油和密封件也是保养的重要部分。油的质量和密封件的状态会直接影响分子泵的性能和寿命。因此,定期更换油和密封件是非常必要的。 高真空分子泵维修
检查和维护的内容包括:
1.检查泵内的油面高度是否正常,varian分子泵维保费用,如果不正常需要及时加油。
2.检查泵内的密封件是否正常,如果有损坏需要及时更换。
保养时需要按照厂家的要求进行操作,不要随意更改或拆卸设备。
2.保养时需要注意安全,避免发生意外事故
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广州潽拓光电科技有限公司是进口真空泵供应商,为客户24小时提供技术支持及售后维保服务,包括磁悬浮分子泵、高真空分子泵、分子泵、隔膜真空泵、涡旋分子泵,涡轮分子泵、超高真空泵、复合分子泵等。
2、 分子泵的启动方式:
a、 分子泵的预热;
b、 分子泵的冷却;
c、 真空腔体、真空管道的捡漏;
d、 腔体水回路的捡漏,这点容易忽略。
3、 上料的注意事项:
a、上料时使用的辅助工具,如手推车等,不要撞击腔体和分子泵,这样会造成分子泵轴承和转子崩溃,泵就报废了;
b、上料结束后,腔体门关闭要轻柔。高真空分子泵维修
当轴和轴套配合过紧时,再加滑润油路不通畅,也会因互相粘碾卡死泵长时间不用,泵腔内生锈;泵在湿度较大的环境下运转或抽除潮湿气体,使泵油变成乳浊液或泵油结垢甚至结壳泵油粘度过大(冬天);转子在启动瞬间被打裂;有些泵的高、低真空室气道上有半圆槽,其上压的橡皮板被压得太紧,堵死了中间气道通路等等,均易使泵卡死。这种毛病常常是很危险的,因在卡死瞬间,由于转子使电动机超负荷或转不动,易使电机烧毁。即使不烧电机,如不及早停车修理,则会辗坏泵腔,打坏旋片,扭坏转子,烧坏端面等,其后果总是很不好的。高真空分子泵维修
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