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企业资质

沈阳东创贵金属材料有限公司

金牌会员4
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企业等级:金牌会员
经营模式:生产加工
所在地区:辽宁 沈阳
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手机号码:13898123309
公司官网:www.dcgjs.cn
企业地址:沈阳市沈河区文化东路89号
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企业概况

沈阳东创***材料有限公司是东北大学科技产业集团有限公司下属的国有全资企业,始创于1973年,是国内***行业的企业之一。公司主要经营稀***回收、提纯、加工;金属靶材及零部件、纪念章、饰品加工;矿山工程设计,机械设备安装、调试;金属材料批发、零售;自营和代理各类商品和技术的进出口。公司主要产品已形......

贵金属复合材料厂家-东创贵金属-沈阳贵金属复合材料

产品编号:100102582196                    更新时间:2024-10-19
价格: 来电议定
沈阳东创贵金属材料有限公司

沈阳东创贵金属材料有限公司

  • 主营业务:***材料
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赵总 13898123309

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产品详情

而未米的0.18um}艺甚至0.13m工艺,贵金属复合材料厂,所需要的靶材纯度将要求达到5甚至6N以上。铜与铝相比较,铜具有更高的抗电迁移能力及更低的电阻率,能够满足!导体工艺在0.25um以下的亚微米布线的需要但却带米了其他的问题:铜与有机介质材料的附着强度低.并且容易发生反应,导致在使用过程中芯片的铜互连线被腐蚀而断路。


为了解决以上这些问题,需要在铜与介质层之间设置阻挡层。阻挡层材料一般采用高熔点、高电阻率的金属及其化合物,因此要求阻挡层厚度小于50nm,与铜及介质材料的附着性能良好。铜互连和铝互连的阻挡层材料是不同的.需要研制新的靶材材料。铜互连的阻挡层用靶材包括Ta、W、TaSi、WSi等.但是Ta、W都是难熔金属.制作相对困难,如今正在研究钼、铬等的台金作为替代材料。








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