气体质量流量控制器应用领域
气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。
如何通过质量流量控制器判断有没有气体通过？
可以使用惰性气体接到MFC进气端，气体流量控制器，然后将出气口接一根软管再通进水里，气体流量控制器报价，如果软管口有气泡冒出，气体流量控制器价格，证明MFC是有气体通过的，不过需要注意防止液体倒吸进MFC内，也可以用手将出气口堵死，观察瞬时流量是否有下降，如果有下降，也证明有气体通过，此时堵住出气口的手指也能感受到一定的压力。
气体质量流量控制器工作压差范围是个什么概念?
气体质量流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作，MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa， 若压差小于0.1 MPa， 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3MPa， 有可能在关闭状态下仍有气体通过，即电磁阀漏气。客户应用MFC时， 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态， 都应保证MFC进出气两端的压差维持在所规定压差范围内， 而且压差要相持续稳定。
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