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精密直线电机模组 应用领域
3.1 半导体制造
光刻设备:在光刻机中用于对准和曝光,确保半导体芯片的高精度制造。
晶圆搬运:用于晶圆的搬运和处理。
3.2 自动化
精密装配:在需要高精度装配的自动化生产线中,如电子产品和的装配。
高精度检测:用于高精度的检测和测量设备中。
3.3 设备
手术机器人:提供高精度的运动支持,帮助实现复杂的手术操作。
诊断设备:用于精密的样品处理和数据采集。
3.4 实验室设备
自动化实验:在科研实验中用于样品的处理和位置控制。
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