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广州潽拓——维修PFEIFFER DUO 3
双级旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理
旋片式真空泵是油密封的旋转式排量泵。泵系统包括一个壳 体 (1)、一个偏心地
安装的转子 (2)、在离心力和弹力作用下 径向移动的叶片 (3) 以及入口和出口
(4)。入口阀（如配置）被设计为真空安全阀，该阀在操作过程中始终处于打开状 态。
工作室 (5) 位于壳体内，并受到定子、转子和叶片的限 制。偏心安装的转子和叶
片将工作室分为具有可变容积的两 个独立舱。当转子转动时，气体流入扩大的吸入
室直至其被 第二个叶片封住。封闭气体然后进行压缩，直到出口阀冲破 大气压力
而开启。出口阀是油封的。当阀打开时，少量的油进入吸入室，不仅能够对其进行
润 滑，而且能够将叶片与壳体（定子）密封开来。
旋片式真空泵的工作原理
在气镇操作的情况下，一个孔向外侧打开，让气体流入前侧 的密封吸入室。因此，
在压缩抽吸阶段，在相对低的压缩下 达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始
冷凝前排出置 换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的终压力 高于无
气镇操作所达到的压力。
工作液、油
泵油，也称为工作液，在旋片式真空泵中泵油有多个任务要 执行。它润滑所有移动
部件，填充出口阀下的固定空间以及 缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工
作室之间的间 隙，此外还通过热传递确保温度平衡。
多级泵
旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现 相对更低的极限压力。
此外，气镇对极限压力的影响较低， 因为气镇仅允许在高压力级使用。
真空安全阀
根据所涉及的泵类型，旋片式真空泵可能配备真空安全阀。 真空安全阀在有意或意
外停顿的情况下将泵与真空室隔离， 并使用置换气体对泵系统进行排气，防止油液
上升到真空室 中。在开启泵后，一旦泵中的压力已达到真空室中的近似压 力，它
稍作延迟就打开。
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PFEIFFER Hipace系列分子泵使用领域
1.真空冶金（真空焊接、真空烧结、真空合金、真空炉等）
2.研究设施（核粒子物理学、核聚变研究、激光应用等）
3.分析仪器（质谱分析法、显微镜等）
4.半导体行业（电子组件、集成电路、反射、滤光镜镀膜等）
5.真空镀膜技术（表面保护、装饰土层、显示技术、屏幕等）
广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及售后维修服务于一体的综合性企业，由从事多年真空系统开发，真空设备技术研发，维修工程师，工程师组成的一支技术实力，充满活力的高素质团队。
广州潽拓光电科技——维修保养普发Hipace 300
HiPace Plus 系列涡轮分子泵是为电子显微镜和高duan质谱行业量身定做的产品。
HiPace C 系列涡轮分子泵适合腐蚀性气体环境。
涡轮分子泵应用Hipace 300
镀膜：光伏、CD/DVD/PVD
工业：灯管制造
研发：纳米技术、生物技术
分析仪器：电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析
半导体：PVD、CVD、Beamline、Inspection
德国普发涡轮分子泵Pfeiffer HiPace 300 抽速可达到 260 l/s 涡轮分子泵。分子泵紧凑设计保证jia性能。Hipace 300 对所有气体的高抽速和极高压缩比使其广泛应用于真空行业。涡轮分子泵Hipace 300 通过保护等级IP54、半导体 S2、UL / CSA 认证。通过控制器监控运算数据保证分子泵的gao安全性。此款涡轮分子泵任意位置安装。可选风冷或水冷。多种配件可选
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