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微电浆元件的研究近来提供了许多相当引人注目的特性与可能的应用。微电浆元件科技是结合电浆科学，光电科学与材料科学的一个新领域，并提供了电浆科学一个新发展空间。专门提供探讨微电浆科技的研讨会(IWM， International Workshop on Microplasmas)也在近年发展并渐有规模。目前在发展微电浆元件上有两个主要的方向: (1)观察电浆在微米尺寸与奈米尺寸之下的物理现象与光电特性，(2)发展不同结构与材料来使得微电浆可以与光电科技等不同领域作整合应用

因为六氟化硫sf6高压电器设备的内部气体湿度是经由人为来进行操控的，这也导致设备内部的气体含水量比较低。内部的水蒸汽气压低，但大气中水蒸汽气压却相对很高。在这样的高温又高湿的条件之下，水分子便会自动从高压区往低压区进行渗透。外界的气温越高且相对湿度越大，那么内外水蒸汽的气压差也就会越大，从而也导致了大气中的水分透过设备的密封薄弱环节进入到设备的可能性也就越大。因为六氟化硫的分子直径为4.56×10-10m，水分子的直径为3.2×10-6m，六氟化硫分子为球状，水分子是细长棒状，那么在内部外部水分气压差比较大的时候，水分子便易于进到六氟化硫的设备的内部。

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