直接电解法 将硫、、一氯化硫、或等加入到无水中，以镍为阳极进行电解即可制得六氟化硫。用与无水电解时，以镍作极，铁作阴极，温度为－10～20℃，杭州六氟化硫，电压为7～20V。电解产物应除去杂质;催化氧化法 金属氧化物为催化剂，于300℃下，用空气氧化，该法缺点是收率过低。热解法，在500～2000℃使SF4热解，但该法的转换率及收率皆低，六氟化硫密度，采用微波放电分解SF4亦可。
六氟化硫在药理上是惰性气体，六氟化硫分子，低毒但对人体有窒息作用。在生活或使用过程中会分解一些痕量的有毒硫的低氟化合物和氟氧化合物。3、急性毒性LD50：5790mg/kg（兔静脉）。 [3] 制备编辑1、直接合成法 经净化后的氟（含HF≤0．5%）和硫反应生成六氟化硫及少量的S2F10、SF4、SF2和S2F2。经水洗、碱洗除去绝大部分杂质气体，再经热解炉分解S2F10成SF6和SF4（300～350℃），然后经碱洗进一步除去杂质，净化后的SF6气体经硅胶及分子筛干燥器干燥后，制得六氟化硫产品。
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