洁净室压差控制方法：
为了保证洁净室内洁净度的要求，多晶硅净化车间，平时必须维持一定的正压值，对不同等级的洁净室或洁净区，与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa，洁净区与室外静压差不应小于10Pa.维持洁净室正压的方法有：
（1）安装余压阀：即在洁净室的下风向侧的墙七安装，多晶硅净化车间设计，预先调整余压阀维持室内正压值的开启度，通过余压阀开启关闭调整维持正压值，采用余压阀时应注意长期使用会关闭不严。
（2）送风量大于回风量的方法维持室内正压。
（3）通过安装在回风口或支风管道上的对开式多叶调节阀来维持室内止值。这种方法简单方便，但精度不如余压阀高。
（4）在回风口处安装空气阻尼层，阻尼层材料有尼龙纱、尼龙筛网（孔眼>100目）、在碱液中浸泡过的中细孔泡沫塑料、无纺布等、即通过回风阻尼层阻力逐渐增加而使室内正压增加。该种方法只适用于走廊或套间回风方式。
（5）要求洁净室（区）外围护结构密封性能良好。
洁净室设计首先要了解所设计的洁净室净化工程的用途、使用情况、生产工艺特点等、比如设计的是集成电路生产用洁净室净化工程。首先要弄清楚产品的特性——集成度、持形尺寸和生产工艺特点；对洁净室净化工程的要求——空气洁净度等级、温湿度及其控制范围、防微振、防静电和高纯物质的供应要求等；其次 要充分了解业主拟采用的生产工艺、工艺设备情况和对工艺布局的设想。在此之后，设计人员应协同业主确定洁净厂房各功能区的规划，多晶硅净化车间设计施工，确定各类生产工序(房间)的空气洁净度等级和各种控制参数——温度、相对湿度、压差、微振动、高纯物质的纯度及杂质含量。
净化工程车间污染途径通常有：
1、空气污染空气中菌沉降，已被空气净化系统控制;
2、自身污染患者及工作人员自身带菌;
3、接触污染人及带菌的器械敷料的接触。
无尘净化车间的结构材料是：
1、送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
2、圆弧墙角、门、窗框等一般是采用氧化铝型材制造。
3、高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，多晶硅净化车间维护，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。
4、地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。
5、净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，特点为美观、刚性强。
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