注射泵产品
1 注射泵 DLSP 520 Pro
2 注射泵LSP02-2B
技术指标LSP02-2B
工作方式 :注射、拍取、先注射后胜取、无拍取后注射、连续
通道数量: 2
zui大行程 :140mm
行程分辨率: 0.156um
线速度范围 :5um/min-130mm/min (液量=线速度X注*器内截面积]
线速度调节分辨率: 5um/min
行程控制精度: 误差E士0.5%行程注zui大行程的30%时》
额定线性推力>180N
注*器选择 :内置主要厂家、主要型号注she器供选择
注*器自定文: 可直接输入注she器内径
流量校正: 通过校正程序获得更为jing确的液量
显示参数选择: 液量、流量或线速度
掉电记忆 :重新上电后保持掉电前的参数设置
通信接口: RS495
外形尺寸 :280X250X140(mm)
适用电源 :AC 196V-240V/40W
工作环境温度: 0°C~40°C
工作环境相对湿魔<80%
使用方法
该设备操作简单,匀胶机价格,易于上手,具体操作如下:
一、曝光前准备工作
1、硅片处理:确保待曝光硅片经过匀胶处理,表面干净平整,没有明显的污渍或破损。
2、选择光刻板:根据项目需要,匀胶机哪家好,选择合适尺寸的光刻板,本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。
3、设备检查:仔细检查设备,确保所有部件处于正常工作状态,确保操作环境良好。
二、曝光操作步骤
1、安装硅片:将待曝光硅片平放在设备的载台上,确保位置准确。
2、放置光刻板:将光刻板平放在硅片上方,如果使用菲林掩膜,需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。
3、设定曝光参数:使用控制面板设置曝光时间和强度,根据具体需求进行调整。

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