理化性质: 六氟化硫（SF6）常态下是一种无色、无味、无嗅、无毒的非燃烧性气体，分子量146.06，密度6.139g/l，约为空气的5倍。是已知化学安定性的物质之一，其惰性与氮气相似。它具有极i好的热稳定性，纯态下即使在500℃以上也不分解。六氟化硫具有的电绝缘性和灭弧特性，相同条件下，其绝缘能力为空气、氮气的2.5倍以上，灭弧能力为空气的100倍。六氟化硫的熔点为－50.8℃，可作为－45－0℃温度范围内的特殊制冷剂，又因其耐热性好，是一种稳定的高温热载体。
特种气体
气体工业名词，是指那些在特定领域中应用的，对气体有特殊要求的纯气，高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。
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电子行业常用的特气超越三十余种，按风险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。依照物理形态可分为紧缩气体、液化气体和低温气体。特种气体的应用范畴主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显现器、光纤消费四大范畴。 电子行业常用的特气超越三十余种，按风险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。依照物理形态可分为紧缩气体、液化气体和低温气体。特种气体的应用范畴主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显现器、光纤消费四大范畴。
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