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XRF用光或其他激发源照射待分析样品，样品中的元素之内层电子被击出后，造成核外电子的跃迁，在被激发的电子返回基态的时候，会出特征光；不同的元素会出各自的特征光，具有不同的能量或波长特性。检测器(Detector)接受这些光，仪器软件系统将其转为对应的信号。这一现象广泛用于元素分析和化学分析，XRF，特别是在研究金属，玻璃，XRF价格，陶瓷和建筑材料，以及在地球化学研究、法医学、电子产品进料品管




经典光谱仪器是建立在空间色散原理上的仪器；新型光谱仪器是建立在调制原理上的仪器。经典光谱仪器都是狭缝光谱仪器。调制光谱仪是非空间分光的，它采用圆孔进光。根据色散组件的分光原理，光谱仪器可分为：棱镜光谱仪，XRF好不好，衍射光栅光谱仪和干涉光谱仪。光学多道分析仪OMA (Optical Multi-channel Analyzer)是近十几年出现的采用光子探测器(CCD)和计算机控制的新型光谱分析仪器，它集信息采集，处理，存储诸功能于一体。




当具有高能量的入射（一次）X射线与原子发生碰撞时，XRF供应商，会打破（待测样品的）原子结构的稳定性。处于低能量电子壳层（如：K层）的电子更容易被激发而从原子中逐放出来，电子的逐放会导致该电子壳层出现相应的电子空位，这时处于高能量电子壳层的电子（如：L层）会跃迁到该低能量电子壳层来补充相应的电子空位。由于不用电子壳层之间存在着能量差距，这些能量上的差以二次X射线的形式释放出来.




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