如何提高等离子体的生成、控制和稳定性，以实现更高的抛光效率和质量，以及更低的能耗和成本。如何扩大等离子抛光技术的适用范围，以实现对更多种类、形状、尺寸的工件的抛光，以及对更多领域和行业的应用。如何解决等离子抛光技术的环境和安全问题，如如何减少废液的排放和处理，如何避免电磁干扰和噪音等。如何提高等离子抛光技术的智能化和自动化水平，以实现对抛光过程的实时监测、调节和优化，以及对抛光结果的评估和反馈。如何加强等离子抛光技术的理论和实验研究，以揭示等离子抛光过程中发生的复杂的物理、化学、电化学、热力学等机理，以及对工件表面性能的影响规律。
等离子抛光是否环保
传统的手艺抛光效率是很慢的，工人工资也很高。而且抛光是个对人体伤害很大的行业。抛光工人的办理十分头疼，工人自由散漫，流动性强，职业病高。等离子抛光设备为客户减轻环保压力。自动化运用的抛光盐十分环保，其废液稍加处理直接排放而不会形成污染，也能够稍作处理回收使用，所以运用等离子抛光设备作业，对人员身体一点危害都没有，环保又安全。等离子抛光设备下降客户生产本钱。半自动、全自动环保等离子电浆抛光设备选用自动化控制，操作简略，维护便利，减少作业人员、下降人工本钱。同时也可为客户节约因人工抛光、电解抛光、化学抛光等传统抛光方法而形成的许多资料消耗。?
随着半导体工艺的不断发展，对半导体表面平整度和光泽度的要求越来越高，传统的机械抛光技术已经不能满足需求。等离子抛光设备作为一种新兴的表面处理技术，具有、、无污染等优点，在半导体行业中的应用前景广阔。等离子抛光设备不仅可以用于晶圆的表面抛光和去除氧化物，还可以用于半导体器件的表面平整化和去除残留物等方面，具有重要的应用价值。
