特种气体兴起于60年代中期，作为基础化工材料，主要运用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、医学科学、临床诊断、医i药消毒、水果催熟、食品保鲜等领域。随着新产品技术的发展，其应用范围也越来越广泛。在国民经济高速发展及下游i行业的强劲需求下，苏州工业园区氦气，我国特种气体行业在2006年后进入快速发展阶段，年均增速达到17%以上。2011年，国内特种气体行业产值规模为296.88亿元，较上年增长22.15%；销售收入为297.52亿元，较上年增长21.64%，详《中国特种气体行业产销需求与投资预测分析报告》。
特种气体
气体工业名词，是指那些在特定领域中应用的，氦气的价格，对气体有特殊要求的纯气，高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。
特种气体(Specialtygases)门类繁多，通常可区分为电子气体，标准气，环保气，气，焊接气，杀菌气等，广泛用于电子，电力，石油化工，采i矿，钢铁，有色金属冶炼，热力工程，生化，氦气的用途，环境监测，医学研究及诊断，食品保鲜等领域。
其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。
在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用；在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。
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