注射泵产品
1 注射泵 DLSP 520 Pro
2 注射泵LSP02-2B
技术指标LSP02-2B
工作方式 :注射、拍取、先注射后胜取、无拍取后注射、连续
通道数量: 2
zui大行程 :140mm
行程分辨率: 0.156um
线速度范围 :5um/min-130mm/min (液量=线速度X注*器内截面积]
线速度调节分辨率: 5um/min
行程控制精度: 误差E士0.5%行程注zui大行程的30%时》
额定线性推力>180N
注*器选择 :内置主要厂家、主要型号注she器供选择
注*器自定文: 可直接输入注she器内径
流量校正: 通过校正程序获得更为jing确的液量
显示参数选择: 液量、流量或线速度
掉电记忆 :重新上电后保持掉电前的参数设置
通信接口: RS495
外形尺寸 :280X250X140(mm)
适用电源 :AC 196V-240V/40W
工作环境温度: 0°C~40°C
工作环境相对湿魔<80%
使用方法
该设备操作简单,易于上手,具体操作如下:
一、曝光前准备工作
1、硅片处理:确保待曝光硅片经过匀胶处理,表面干净平整,没有明显的污渍或破损。
2、选择光刻板:根据项目需要,选择合适尺寸的光刻板,本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。
3、设备检查:仔细检查设备,确保所有部件处于正常工作状态,确保操作环境良好。
二、曝光操作步骤
1、安装硅片:将待曝光硅片平放在设备的载台上,确保位置准确。
2、放置光刻板:将光刻板平放在硅片上方,桌面光刻机怎么样,如果使用菲林掩膜,桌面光刻机企业,需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。
3、设定曝光参数:使用控制面板设置曝光时间和强度,根据具体需求进行调整。
注射泵是一种基于步进电机作为驱动源,用于控制jing确液体流量和流速的装置。它通常由步进电机、泵头和控制器组成。步进电机提供了jing确的转速和位置控制,泵头用于推动液体流入管路,桌面光刻机,控制器则控制电机旋转的角度和速度。
注射泵具有以下特点:
1.高精度控制:步进电机可以非常精que地控制旋转角度和速度,从而实现高精度的流量和流速控制。
2.可编程控制:控制器可以通过编程方式设置电机旋转的脉冲数和频率,从而实现不同的流量和流速控制模式。
3.安quan可靠:步进电机驱动的注射泵通常具有多种安全保护措施,如过载保护、限位保护等,确保设备的安quan可靠运行。
4.易于操作:步进电机驱动的注射泵通常具有友好的用户界面和操作系统,操作简单、方便。
5.应用范围广:步进电机驱动的注射泵适用于各种需要精que流量和流速控制的实验、生产和检测场合,桌面光刻机报价,如微流控技术、生物技术、化学实验等。
需要注意的是,步进电机驱动的注射泵相比于传统注射泵,价格较高,但是在需要高精度流量控制的应用场合中,其精度和可编程性优势显著,得到了广泛的应用和认可。
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