保证洁净室内洁净度的措施：
1、进入洁净室物料的净化
进入洁净室的物料一般来讲应在运入洁净室之前进行清洗和必要的净化处理，以减少物料在洁净室内的发尘量。
进入洁净室的小件物品一般由洁净室与外走廊或洁净室也洁净室之间（洁净度级别不同的相邻房间）通过传递窗进入。传递窗一般有箱式型、回转式等。
2、进入洁净室内的空气是洁净的
净化空调系统在运行中，所使用的各级空气过滤器必须是完好而无损坏和泄漏现象。，净化空调系统在运行中，多晶硅净化车间设计，为防止送风系统将不应进入室内的尘粒带进室内，必须对系统中使用的初效、中效及末端空气过滤器进行定期的泄漏检查。
为保持洁净区域的空气洁净度和正压，洁净区域的入口处可设置气闸室或空气吹淋室。气闸室的出入门应有防止同时打开的措施。设置单人空气吹淋室时，宜按da班人数每30人设一台。洁净区域工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。
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