随着半导体工艺的不断发展，对半导体表面平整度和光泽度的要求越来越高，传统的机械抛光技术已经不能满足需求。抛光设备作为一种新兴的表面处理技术，具有、、无污染等优点，在半导体行业中的应用前景广阔。抛光设备不仅可以用于晶圆的表面抛光和去除氧化物，还可以用于半导体器件的表面平整化和去除残留物等方面，具有重要的应用价值。
等离子的形成
等离子是物质的第四态，它的存在需要具备一定的条件、需要有电场、需要有被离化的物质，在物理学来说就是分子周围的电子是齐的、化学键牢固反应到外面是稳定不带电的，但外有电场的存在、会让分子周围的电子在电场的作用下、跑出来带上电荷形成不稳定的离子、离子还会在电场作用下，随着电场的方向做定向移动、数量多了就形成离子流。八溢自动化生产的等离子抛光设备就是利用离子原理来工作的，可以去毛刺、抛光、十分、无死角。
1、链条每个月加油1次。2、轴承每3个月加油1次。3、抛光设备链条张紧度，新机每周查看一次，一个月后每月查看一次。(链条张紧度紧不得小于.04L(8.4mm)，松不得大0.14L29.4mm)4、抛光设备定时查看线路是否有破皮、磨损、揉捏、松脱等现象。定时查看链条、链齿、轴承等有无自然员耗现象(链条在调理3次后或正常运用一年后须替换，轴承如有异响请替换)。
