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分子泵不能用于抽除液体或者带有粉尘、固体颗粒的气体;除了耐腐蚀型泵以外，其他任何分子泵不能用于抽除腐蚀性气体
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Edwards STPA1603C英国爱德华磁悬浮分子泵维修，Edwards STPA1603C爱德华磁悬浮分子泵重量维35kg，功耗0.85KVA，启动时间是7分钟。广州潽拓光电科技精修英国爱德华磁悬浮分子泵系列。
爱德华STPA1603C磁悬浮分子泵对应的控制器为：Edwards SCU-750
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Edwards STPA1603C英国爱德华磁悬浮分子泵维修
小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能，Edwards真空泵保养价格多少，满足zui新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间，而其的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在zui新的200mm刻蚀工具上得到了证明，也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。
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