净化车间空气过滤方案，净化车间中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。空气过滤器的选用安置和装置方法，应契合：初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器;中效空气过滤器宜会集设置在净化空气调节体系的正压段;高效空气过滤器或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节体系末端，高效空气过滤的装置方法应简便牢靠，宜检漏和替换;中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用;阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一净化车间内。断定会集或涣散式净化空气调节体系时，应综合考虑生产工艺的特色和净化车间空气的洁净度等级、面积、方位等要素。凡生产工艺接连、无尘室或净化车间面积较大时，方位会集以及噪声操控和振动操控要求严厉的洁净室，宜采用会集式净化空气调节体系。
无尘净化车间的用途：在无尘净化车间中，经常使用流体流动类型，例如流线型示教流动边缘，贴膜净化车间维护，过滤器出风口，部分孔板等，以及没有液位要求的地方过高也可以用作侧面到侧面的系统。混沌流体的情况受供气口类型和插入方式的限制。无尘净化车间的净化工程一般采用上下送风的状态，负气流反向，这与粉尘正压标准的目的不同。采用清洁，中等效率的三级过滤净化系统，室内浓度与换气次数密切相关，必须通过响应回风来实现不同发散度的换气次数。平行流（层流）系统是指流线平行，流向雪松的流结构，太平洋均的横截面速度是不可避免的。
无尘车间的特殊优势。无尘车间可以将洁净气流尽快的分布到整个洁净区，然后以此来冲淡室内污染源塞不的尘、菌以及对空气的污染，从而达到生产环境所要求的洁净度。不但如此，无尘车间还能将污染源尽快的在室内排出，减少尘、菌在室内的停留时间，缩小不洁物质跟产品接触的几率。无尘车间是指控制产品(如硅片)所暴露的大气的清洁度和温度湿度，以便产品能够在良好的环境中生产和制造。这个环境空间的设计和建造过程可以称为净化工程。
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