




广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦
安捷伦SH-110是业内的干式密封涡旋泵,安捷伦Turbo-V302,可以方便地组装到原始设备制造商(OEM)系统中。这种单级泵体积小巧, 抽速110升/分(频率60Hz) ,极限压力50 mtorr (0.07 mbar) ,许多终用户应用的理想选择。
SH-110泵符合欧盟(CE)、加拿大标准协会(CSA)和Semi S2-0200的要求。
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分子泵出现工作压力起伏大的原因和处理方法
故障剖析:吸进管道漏汽;泵挤出机螺杆与泵套不一样心;阀门沒有校准好,或压力过大,花都区安捷伦,使安全法时开落闭。
解决方法:检查管道并维修好;维修调节或拆换;再次校准阀门或减少压力。
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美国Agilent TwisTorr 304 FS涡轮分子泵,采用 Twistorr 拖动技术和安捷伦悬浮轴承,具有高xing能、高可靠性及经济性。
涡旋式干泵具有噪音低,安捷伦Turbo-V2K-G,震动小,结构简单,运行稳定,维护间隔周期长等优点,而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障
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