




高温下与氧反应生成无定形二氧化硅层,在器件工艺中常用半作掩蔽层和隔离层。硅不溶于酸,但溶于HNO3。和HF的混合溶液中,常用这种溶液作腐蚀液。硅稍溶于加温的碱溶液中,还可采用等离子腐蚀技术来腐蚀硅。硅有结晶态和非晶。常温下硅单晶介电系数11.7,金属硅粉公司,对光具有高的折射率(n=3.42),反射损失较大,涂以适当减反射膜可提高透过率。
半导体硅材料(semiconductor silicon)是主要的元素半导体材料,包括硅多晶、硅单晶、硅片、硅外延片、非晶硅薄膜等,可直接或间接用于制备半导体器件。硅为周期表中Ⅳ族元素。在地壳中主要以二氧化硅和硅酸盐形式存在。丰度为27.7%,次于氧。硅的原子量为28.05,25℃下密度为2.329g/cm3,金属硅粉价格,具有灰色金属光泽,较脆,硬度6.5Mohs,金属硅粉批发,稍低于石英。
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