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X射线是一种波长较短的电磁辐射，通常是指能量范围在0.1~100keV的光子。X射线与物质的相互作用主要有荧光、吸收和散射三种。X射线荧光是由物质中的组成元素产生的特征辐射。当高能电子束照射样品（靶材）时，入射高能电子被样品中的电子减速，这种带点粒子的负的加速度会产生宽带的连续X射线谱，简称为连续谱和韧致辐射。然后化学元素受到连续X射线谱的照射，岩石分析仪，内层电子被激发，驱逐一个内层电子形成空穴，氮化硅分析仪，原子处于不稳定状态。



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