自动光学检测(automated optical inspection， AOI)技术，也称为机器视觉检测(machine vision inspection， MVI)技术或自动视觉检测(automated visual inspection，始兴半导体检测， AVI)技术。在有些行业，如平板显示、半导体、太阳能等制造行业，AOI这一术语更加流行，被人知晓。但是AOI和MVI/AVI在概念和功能上还是有细微差别的。
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AOI自动光学检测仪视觉控制系统选择主要是由CCD工业相机和光源的组合。
如何正确的选择CCD相机 ：
AOI自动光学检测仪的相机按摄取图像的模式分为面阵相机和线阵相机。面阵相机是采用拍摄一幅一幅的图片方式取像；线阵相机是逐行扫描方式取像，面阵相机的优点是图像的还原性较好，打光角度容易调整，还容易得到较清晰的图像，因而市面上的AOI自动光学检测仪绝大多数厂商使用这类相机。
用于表面缺陷检测的AOI系统不能在检测过程中，给被测件表面带来缺陷（如粉尘、划伤、静电等）。因此，对于大型零件（如高世代的液晶玻璃基板、硅片等）的在线检测，常常需要采取气浮支撑、定位与传输机构，运动部件（如轴承等）采用自润滑器件，半导体检测厂商，以及利用FFU风机过滤机组对检测系统进行环境净化，并采取消静电装置，对工件进行防静电处理。
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