溅射靶材ITO靶材的生产工艺 ITO靶材的生产工艺可以分为3种：热等静压法(HIP)、溅射靶材热压法(HP)和气氛烧结法。各种生产工艺及其特点简介如下：
热等静压法：ITO靶材的热等静压制作过程是将粉末或预先成形的胚体，在800℃～1400℃及1000kgf/cm 2～2000kgf/cm 2的压力下等方加压烧结。热等静压工艺制造产品密度高、物理机械性能好，但设备投入高，贵金属靶材技术，生产成本高，贵金属靶材生产加工，产品的缺氧率高。
工业上大量使用的是工业纯稀土金属，贵金属靶材，较高纯度的稀土金属主要供测定物理化学性能之用。主要有四种提纯方法在试验室中使用，即真空熔融，真空蒸馏或升华，电迁移和区域熔炼。 稀土金属棒在区域熔炼炉中以很慢的速度（如提纯钇时为0.4毫米/分），进行多次区熔，对去除铁、铝、镁、铜、镍等金属杂质有，但对氧、氮、碳、氢无效。此外，电解精炼、区熔－电迁移联合法提纯稀土也有一定效果。
王水在溶解了 的溶液中有大量的残余和 硝基物的存在给后续提炼或精炼带来操作困难或失败，严重影响的提炼或精炼工艺顺利进行，严重影响回收率，故王水溶液的浓缩赶硝是紧随溶解其后的务必工序！尤其在铂族金属的精炼中严重影响水解的顺利进行和回收率。
王水溶液的浓缩赶硝故名思议是两段工序，贵金属靶材谁家好，浓缩的目的是将溶液中可在沸腾下挥发的酸和水尽量挥发，以便适合赶硝的药剂和浓度尽量高的无水硝基物或残余快速反应，以达到赶硝的目的。
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