广州潽拓光电科技有限公司——Edwards分子泵机组保养
爱德华edwards nEXT 300涡轮分子泵
nEXT泵采用Edwards成熟的轴承技术，上轴承为性磁悬浮轴承，Edwards分子泵机组保养，下轴承为油润滑陶瓷轴承，并改进转子设计，使其更加有效地实现分子拖曳行程，终提高抽速和压缩比，同时真正实现了用户自行维护。基本的分子泵系统通常由nEXT300D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。
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Edwards STPA1603C英国爱德华磁悬浮分子泵维修
小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能，满足zui新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间，而其的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在zui新的200mm刻蚀工具上得到了证明，也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。
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