EO属广谱灭菌剂，EO液体和气体均有较强的灭杀微生物作用，相比之下，气体的灭杀微生物作用更强，在消毒灭菌上一般多用其气体。1859年，Wurtz首先发现了EO，环氧乙烷分析，但将其作为消毒与灭菌剂应用是在1936年。1936年，Schrader与Bossert发现EO与CO2相混合，用于杀灭各种害虫和细菌。20世纪50年代起EO开始用于医院灭菌，据调查20世纪90年代中期，环氧乙烷，美国几乎所有的机构都具备EO灭菌设备。近年来，国内的一些大城市如北京、上海、广州的大部分大医院都具备进口EO灭菌器。
到目前为止，环氧乙烷技术，所有资料显示EO杀菌作用是不可逆的，也就是说EO是杀菌剂(sterileagent)而不是消毒剂(disinfectant)。而且根据各种临床、科研结果显示EO是所有化学消毒剂或灭菌剂中灭菌效果**好的一种化学灭菌剂。环氧乙烷能抑制一些微生物酶的活性，环氧乙烷厂家，包括磷酸致活酶、肽酶、化酶和脂酶。环氧乙烷也和DNA、RNA发生化作用而导致微生物的灭活。
控制灭菌环境的相对湿度和物品的含水量: 细菌本身含水量和灭菌物品含水量，对的灭菌效果均有显著影响。一般情况下，以相对湿度在60%～80% 为好。含水量太少，影响的渗透和的化作用，降低其杀菌能力；含水量太多，被稀释和水解，也影响灭菌效果。为了达到理想的湿度水平，步是灭菌物必须先预湿，一般要求灭菌物放在50%相对湿度的环境条件下至少2h以上；第二步可用加湿装置保证柜室内理想的湿度水平。
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