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流量控制器的应用中IST流量传感器的作用

IST-AG通过特殊的薄膜工艺，将高精度加热器，温度传感器或电堆封装在单一芯片内，构成流量测量的主要传感单元（Figure 2） ，通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景，薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。

IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器，用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则，确定流体的流率.随着流体通过传感器，热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加，热量被传递.通过了解媒体的温度，便携式气体流量计价格，即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。

而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中，免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护，具有较佳的长期稳定性。

因此在终端应用中，质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:

1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路，而进行直接测量，提高测量的准确性。

2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度，在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。

3、小巧的体积与简单的安装方式，给气路结构优化创造更大的空间。

质量流量控制法的配气装置

SSGM系列的配气装置采用质量流量控制法，经过持续不断的改进和创新，仪器性能及指标进一步提高，具有极高的灵敏度，很高的稳定性和适应力，可适应各种恶劣的工作条件。配气装置采用质量流量控制法，控制气体的进气量，结合本公司特有的新型计算方法，综合得出的一款全自动配气装置。质量流量控制装置在制造工艺中对供给的气体的质量流量进行控制等目的而被广泛使用。

质量流量控制装置(质量流量控制器)是至少包括测量流体的流量的流量计、控制流体的流量的流量控制阀、管路保护系统，压力测试装置等硬件部分，通过可编程控制器对流量计和流量控制阀进行控制的控制电路及其他零部件的控制设备。质量流量是一种保证监测数据准确可靠的方法，也是科学管理实验室和检测系统的有效措施，它可以保证数据质量，电子气体流量计价格，使流量的检测和控制建立在可靠的基础之上。

配气装置主要是针对实验室及各种环境下所需要的模拟气体成分。依据比例自行设置混合输出的装置。主要重要部件为质量流量控制器，利用其高精度、高准确性的特点，准确控制各个气体组成成分的输入量，气体热质量流量计价格，经由设计及生产的混气腔室后输出。配气过程直观，调整便捷，为纯机器结构，使用寿命长，安全和可靠，体积小巧、重量轻，携带和使用方便，可实现双元或多元气体同步混合，混气过程复现性优良，比例稳定。

我们通常称的质量流量控制器，它的全称是热式气体质量流量控制器，英文：Mass Flow Controller(简称MFC)；而质量流量计的全称是热式气体质量流量计，英文名：Mass Flow Meter(简称MFM）。它们是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不会因为温度或者压力的变化而产生失准的现象。

松盛测控本体带数显流量控制器/流量计

质量流量计，是一种计量和监测的仪表；而质量流量控制器，不但具有质量流量计的功能，更重要的是：它能够自动地控制气体的流量，也就是说，用户可根据情况的需要，湖北流量计价格，来进行流量的设定，流量控制器则自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离当初的设定值。简单来说，质量流量控制器就是一个稳流装置， 是一个可以手动设定或与计算计连接的自动控制气体的稳流装置。

所以总的来说，一般情况下，仅对气体流量进行计量或监测的话，用质量流量计就能够满足要求；而如果是需要对气体流量进行控制的话，则需要用质量流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，如对毛细管流通能力的测量，当定压测流的时候， 用质量流量计; 当定流测压时， 需要用质量流量控制器。注意， 当质量流量控制器处于清洗状态时， 也可以当质量流量计使用， 只不过气压降要比普通质量流量计大一些。