严格地讲，任何真空系统都有漏气现象存在，漏气是一定的。针对不同的真空系统，可以容许有一定的漏率。目前的真空技术，可以确保超高真空系统的容许漏率≤1.33×10-11Pa.m3/s。真空检漏已经成为真空系统制作和使用中不可缺少的环节。真空检漏的方法多种多样，比较具代表性的氦质谱检漏和四极质谱仪残留气体分析。
氦质谱检漏仪检漏原理及方式：氦质谱检漏仪的检漏方式，氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，信号开关仪表泄漏测试，另一种为逆扩散检漏。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。逆扩散原理：逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，氦质谱检漏仪可达300Pa(一般常规检漏仪为0.05Pa以下)，适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝寿命长等优点。
灯具防水防尘测试
灯具防护等级的内容是防水和防尘，表现形式为：IP00，如IP65，6代表防尘等级，自动变速器泄漏测试，5代表防水等级，这个数值越防护高等级就越高，数值是从0-9。对于完全密封的灯具，发动机气缸盖泄漏测试，那么，我们可以采用外部模拟气压的方法进行防水检测，将灯具置入一个密闭的容腔内，第l一阶段使用气密性检测仪对容腔内部充入一定压力的气体，泄漏测试，将气体释放到整个容腔的过程中，判定灯具是否存在非常大的泄漏，我们将这个过程叫做大泄漏检测，如果不存在大泄漏， 那么进入第二阶段，稳压、测试，防水测试仪就会计算出一定时内的泄漏值（泄漏速率），可根据泄漏值判定灯具防水等级。
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