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广州潽拓光电科技有限公司——英福康分子泵维修氦质谱检漏仪维修中心

氦质谱检漏仪注意事项

1.设备应在施工工作完成后进行本测试，英福康分子泵维修保养维修，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。

2.若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。

3.因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上， 由近而远的顺序进行。冷媒检漏仪维修中心

4.检漏过程中，如发现大量氦气进谱检漏仪，英福康分子泵维修保养公司，应立即移去吸，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。

当检测较大的零件时，使用机械泵进行真空预抽可以提高泄漏检测的效率和时间，当有许多密封和焊缝并且它们挤在一个小容器中时，由于氦注入后的快速扩散，不容易准确确定泄漏位置，因此我们应该从不同角度喷射氦，仔细观察反应时间和泄漏的差异，发现用真空密封泥浆临时密封，等等，可以将泄漏孔一个接一个地出来。氦质谱检漏仪维修中心

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涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高，可达10-8 pa。英福康真空泵维修

正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200pa之间，可采用机械泵作为前级泵，由于涡轮分子泵的转速高，通常用中频电机带动，中频电源的频率在300-400HZ之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。英福康真空泵维修

半导体器件的生产制造工艺极其复杂，需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作，例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行，而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。英福康真空泵维修

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广州潽拓光电科技有限公司——英福康分子泵维修氦质谱检漏仪维修

氦质谱检漏法利用氦质谱检漏仪的氦分压测量原理，测量被试件的氦泄漏量。如果被测零件的密封表面有泄漏，则表明泄漏的氦气和其他气体已从泄漏处排出。泄漏气体进入氦质谱仪泄漏检测器后，由于其选择性检测能力，仅显示气体中的氦分压信号值。在获得氦气信号值的基础上，广东英福康分子泵维修，可以通过比较标准泄漏孔来获得氦气从泄漏孔的泄漏量。

根据泄漏检测过程中显示的泄漏气体位置与被测对象之间的不同关系，氦质谱泄漏检测方法可分为真空法、超压法、真空压力法和背压法。综述了这四种氦质谱检漏方法的检测原理。优点和缺点以及测试标准。

氦气易于弥散，且分子尺寸小，能够渗透到被测物体内或漏出到外界。因此，在使用氦质谱检漏仪时，将被检测物体充入氦气，并利用泄漏口外的吸气探头来探测泄漏气体中的氦气，通过光电倍增管检测氦气的信号强度，判断是否存在泄漏。

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