苏州珂锐弘扬(图)-气体管道材质-吴江区气体管道

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。

注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃爆i炸，吴江区气体管道，有剧i毒的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。

天i然气长输管道工程施工应该使用哪些工程技术人员？

施工队伍应具备的条件

(1) 进行城镇燃气输配工程施工的单位，必须具有与工程规模相适应的。

(2) 承担燃气钢质管道、设备焊接的人员，必须具有锅炉压力容器压力管道特种设备操作人员资格证(焊接)焊工合格证书。

施工作业带的要求

为了避免或减少对原有地物、地貌的破坏及对交通的干扰，施工作业带以少占地为原则。特殊地段，其占地宽度可根据管沟深度、工程地质的实际情况和施工方法适当加宽，但必须得到业主的认可。繁华街区段，由于施工作业面较窄，在施工区域内，有碍施工的建筑物、构筑物、道路、沟渠、管线、电杆、树木等，应在施工前，由业主、施工方和有关部门协商解决，必须时，可减少施工作业带宽度。

(1) 地下隐蔽物清查

施工方在开工前应对施工作业带内所有与管线有关的地下管线及构筑物进行核查。为确保万无一失，必要时开挖探坑核实，并得到主管部门的确认。

(2) 施工作业带清理

施工方应清除作业带内需拆除的障碍物，如庄稼、树木、混凝土路面、临建围墙及花坛等，在保证正常施工和安全的前提下，可适当减少拆除工作量。施工方应向业主提交一份对各种情况提供保护措施的施工组织设计，包括管 线、电(光)缆、架空线路、公路、水渠以及其它地上或地下建构筑物，经业主和各主管部门同意后方可施工。

(3)施工现场安全防护

在车行道、人行道施工时，应在管沟沿线四周设置安全护栏，并应设置明显的警示标志;在繁华路段和城市主要道路施工，宜采用封闭式施工方式;在施工路段沿线，气体管道材质，应设置夜间警示灯，对无路灯的路段沿线，应设置照明灯，对不可断路面，气体管道公司，应有保证车辆、行人安全通行的措施，施工工地应有昼夜巡视的安全员，施工中使用吊车起吊时，应注意沟槽上方高压线等设施。

实验室气体工程安装注意事项

　　（1） 管径为1/8的管路很细且特软，安装后不直，很不美观，建议管径为1/8的全部换成1/4，气体管道设计，在二级减压器末端加一变径就可以了。

　　（2） 氮气，Ar，压缩空气，氦气，甲i烷，氧气的已经减压器压力表量程为0—25Mpa，二级减压器为0—1.6 Mpa。乙i炔一级减压器量程为0—4 Mpa，二级减压器为0—0.25 Mpa。

　　（3） 氮气，Ar，压缩空气，氦气，氧气钢瓶接头共用氢气钢瓶接头分两种，一是正转钢瓶接头，另一是反转。大气瓶用的是反转，小气瓶用的是正转。

　　（4） 气体管路每隔1.5m设一管子固定件弯曲处及阀门两端都应设固定件。

　　（5） 气体管路应沿墙明设，以便安装维护。