EO属广谱灭菌剂，EO液体和气体均有较强的灭杀微生物作用，环氧乙烷价格，相比之下，气体的灭杀微生物作用更强，在消毒灭菌上一般多用其气体。1859年，Wurtz首先发现了EO，但将其作为消毒与灭菌剂应用是在1936年。1936年，Schrader与Bossert发现EO与CO2相混合，用于杀灭各种害虫和细菌。20世纪50年代起EO开始用于医院灭菌，环氧乙烷分析，据调查20世纪90年代中期，美国几乎所有的机构都具备EO灭菌设备。近年来，国内的一些大城市如北京、上海、广州的大部分大医院都具备进口EO灭菌器。
EO灭菌适用于不耐热、不耐湿的诊疗器械、器具和物品，在消毒实践中有着广泛的用途。EO用于灭菌主要通过消毒柜/灭菌站等设备设施实现，主要集中在两类企业：无菌器械生产企业灭菌环节和第三方消毒灭菌企业。从到EO消毒灭菌应用，作为行业不可或缺的组成部分，EO应用将随着未来我国行业的快速发展而持续增长，为人们的生产和生活提供化、国产化的坚实保障。
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