能量色散X萤光与波长色散X萤光光谱分析技术特别研究与应用了里层三个电子轨道即K，L，M上的活动情况，其中K轨道为接近核子，每个电子轨道则对应某元素一个个特定的能量层（伊诺斯合金分析仪中国服务商）。在XRF分析法中，从光发射管里出来的高能初级射线光子会撞击样本元素。这些初级光子含有足够的能量可以将里层即K层或L层的电子撞击脱轨。这时，原子变成了不稳定的离子。
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