涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高，可达10-8 pa。英福康真空泵维修
正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200pa之间，可采用机械泵作为前级泵，由于涡轮分子泵的转速高，通常用中频电机带动，中频电源的频率在300-400HZ之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。英福康真空泵维修
半导体器件的生产制造工艺极其复杂，inficon英福康真空计保养厂家，需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作，例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行，而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。英福康真空泵维修
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按工业标准的定义，真空 (Vacuum) 就是“低于一个标准大气压的气体充满空间的状态”。随着压力或单位体积内分子数的减少，真空度的大小各不相同。
真空度的单位与压强的单位一样，用 Pa，mbar 等表示。有两种表示方式：*对真空度与相对真空度。一般说，用*对真空度比较好理解，即准确说出当前的压力和压强是多少。对高低不同的真空进行测量，所依据的原理也各不相同。
皮拉尼真空计应用行业
1）各种高真空泵的前级压力测量，如光伏、镀膜、等离子行业
2） 各种中低真空测量，如照明，冶金
3）真空连锁控制，高真空计的点火开关控制
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不同气体对皮拉尼真空计的影响
不同气体对皮拉尼真空计的影响因为热量的传递不仅仅与压强有相互关系，同时与气体的摩尔量和分子结构有关系。不同的气体会导致压力测量时得出不同的结果。
在一般情况下，当现有的气体的原子或者分子越大，热传导的能力或者效率越低。
在压力测量中，除少数直接测量外，绝大多数是间接测量。它首先在被测气体中引起某些物理现象，然后在此过程中测量与压力有关的物理量，然后尝试确定压力值。这是真空测量的特点，也会引起一些问题。
皮拉尼真空计用范围
化学工业
电子与微电子领域
气相沉积
电子束焊接
真空冶金
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