由于每种原子都有自己的特征谱线，因此可以根据光谱来鉴别物质和确定它的化学组成．这种方法叫做光谱分析．做光谱分析时，可以利用发射光谱，也可以利用吸收光谱．这种方法的优点是非常灵敏而且迅速．某种元素在物质中的含量达10^-10(10的负10次方)克，就可以从光谱中发现它的特征谱线，因而能够把它检查出来．光谱分析在科学技术中有广泛的应用．例如，在检查半导体材料硅和锗是不是达到了高纯度的要求时，ESI，就要用到光谱分析．在历，光谱分析还帮助人们发现了许多新元素．
通常我们可以对同一个标准样品连续测量50次，考察各个元素的RSD相对标准偏差来考证一个设备的性能。如果光谱仪的硬件技术不过关，仪器的稳定性是没法保证的。设备的灵敏度，也就是检测下限。通常很多厂家吹嘘仪器的检出限可以达到1ppm，这其实都是销售人员的吹嘘。客户可以跟进自己手里的实际样品来检测设备在检测低含量样品时候的表现。比如可以测试塑料里面50ppm的Cl氯元素。
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