




电子气体
电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,标准气体,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,特种气体生产商,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投人、高附加值的高新技术产业 电子气体的应用领域主要在半导体集成电路生产制造、非晶硅太阳能电池、液晶显 示器件、光导纤维生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产。 半导体工业用气体的特点是品种多、质量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蚀性气体。
三氟甲i烷 (CHF3)
包装:采用40L、47L钢瓶充装,也可根据客户需要分装到8L的气瓶中。
用途:用作电子工业等离子体化学蚀刻剂、低温(-100℃)制冷剂及氟有机化合物的原料。
理化性质: 是一种无色、微味,二氧化碳,不导电的低毒类气体,是理想的卤代烷替代物。高浓度三氟甲i烷具有窒息麻i醉作用,对脑神经有损害。液体接触时可能引起冻i伤。
注意事项:储存于阴凉、通风的不燃气体库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与氧化剂、易(可)燃物分开存放,气体,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
标准气体的概念理解
1、定义:标准气体是带有证书的具有计量溯源性的一种或多种准确特性量值,用于校准仪器, 评价测量方法或给物质赋值的气体。
2、特性:
1)稳定性:在规定的时间间隔和环境条件下, 标准气体的特性量值保持在规定的范围内的特性、标准气体的稳定性表现在气体对气瓶和阀门不产生吸附和反应, 气体组分之间不发生化学反应。
2) 均匀性:均匀性是物质的一种或几种特性具有相同组分或相同结构的状态、标准气体的均匀性表现在不同温度和压力下各组分的特性量值在规定的范围内。气体组分不分层,无液化。
3)准确性:是指标准气体具有准确计量的标准值。其量值可以溯源。
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