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Edwards nEXT它们采用 24V 到 48V 的直流无传感器电机,具备内置的驱动,完全兼容我们的 TAG 和 TIC 控制器系列。 该分子泵有 80W 和 160W 两种zui大预设功率可选。前者适用于我们的 100W TIC 控制器,爱德华真空分子泵E1M40公司,也是泵送ya气时的建议选择,爱德华真空分子泵E1M40费用,但该功率下达到完全运行速度的加速时间比较长。
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Edwards STPA1603C英国爱德华磁悬浮分子泵维修
小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能,满足zui新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间,越秀区爱德华真空分子泵,而其的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在zui新的200mm刻蚀工具上得到了证明,也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。
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随着真空应用的发展以及真空技术在生产和科学研究领域中对其应用的广泛性,真空泵在不同的工作压力范围和不同的工作要求下使用不同的类型。分子真空泵,它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
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